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靜電吸盤測(cè)試臺(tái)
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靜電吸盤測(cè)試臺(tái)

基本功能:

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下,當(dāng)直流電極接通到高壓(低流)直流電源后,電介質(zhì)的表面會(huì)產(chǎn)生極化電荷。對(duì)于庫(kù)侖吸盤吸盤不同種類中的一種而言,這會(huì)導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對(duì)于JR吸盤,除了極化電荷外,還有一部分自由電荷,因?yàn)檫@類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會(huì)產(chǎn)生電場(chǎng),該電場(chǎng)進(jìn)一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷,這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時(shí),晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓,利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上,以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。

為了保證晶圓不與吸盤接觸, 吸盤表面均布氦氣孔, 用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓 , 使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

測(cè)試原理:

靜電吸盤測(cè)試臺(tái)配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動(dòng)吸盤, 吸盤背面預(yù)留對(duì)應(yīng)出氣孔位置的氣體接口, 每個(gè)接口用于連接對(duì)應(yīng)的壓力和流量傳感器, 最多預(yù)留16路接口, 16路的壓力和流量對(duì)應(yīng)顯示在計(jì)算機(jī)上,

被動(dòng)吸盤整體與測(cè)力傳感器連接, 當(dāng)靜電吸盤工作時(shí), 可以測(cè)試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時(shí) , 實(shí)時(shí)對(duì)外輸出的力, 可以校正不同電壓時(shí),對(duì)應(yīng)不同的氣體流量,分別輸出的實(shí)際吸力,并且實(shí)時(shí)顯示每一路氣體的壓力流量, 用于校正晶圓整體受力是否均勻。

1靜電吸盤測(cè)試臺(tái)1.png

靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本參數(shù)

1. 最大吸附力:500N

2. 力值精度:±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格:10/8/5

4. 傳感器壓力范圍:0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍:0.1-500sccm

6. 傳感器精度:±1%

7. 傳感器供電:24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級(jí):1000V

9. 外形尺寸:1200*950*1650

10. 整機(jī)功率:2kw

11. 整機(jī)重量:260kg

靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本配置:

1. 鋁合金臺(tái)架        一套

2. 大理石臺(tái)面        一套

3. 垂向移動(dòng)滑臺(tái)      一套

4. 吸盤安裝座        一套

5. 被動(dòng)吸盤          一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板        一套

7. 壓力傳感器        16

8. 流量傳感器        16

9. 通訊轉(zhuǎn)換器        1臺(tái)(35路)

10. 計(jì)算機(jī)及軟件     一套

11. 隨機(jī)工具         一套

12. 防靜電腳墊       若干

13. 防靜電手環(huán)        2

標(biāo)簽:靜電吸盤測(cè)試臺(tái)

 



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